تارگت سرامیکی اکسید سریم (CeO2)

تارگت اسپاترینگ اکسید سریم

خلوص: 99.9%، 99.99%

روش تولید: پرس داغ (Hot Press Sintering)

ابعاد موجود:

• دایره‌ای: قطر ≤ 14 اینچ، ضخامت ≥ 3 میلی‌متر
• مستطیلی: طول ≤ 14 اینچ، عرض ≤ 10 اینچ، ضخامت ≥ 3 میلی‌متر

نوع باند: ایندیوم، الاستومر

این تارگت‌های اسپاترینگ اکسید سریم از ویژگی‌های بالای خلوص، چگالی بالا و سطح یکنواخت و بدون لکه یا ترک برخوردارند که امکان تولید فیلم‌های نازک همگن و با کیفیت بالا را در فرآیند PVD (تخلیه فیزیکی بخار) فراهم می‌آورد.