ترکیب معمولی: ZnO/Al2O3 = 98/2 wt%، 99/1 wt% و غیره
خلوص: 99.99%
روش تولید: پرس داغ (Hot Press Sintering)
ابعاد موجود:
دایرهای: قطر = 1″، 2″، 3″ و 4″، سایر اندازهها قابل سفارشیسازی
مستطیلی: طول = 3 میلیمتر و 6 میلیمتر
تارگتهای اسپاترینگ اکسید روی/اکسید آلومینیوم (AZO) از خلوص بالا و سطح یکنواخت برخوردارند و امکان تولید فیلمهای نازک با کیفیت و همگن را در فرآیند PVD (تخلیه فیزیکی بخار) فراهم میکنند.
این تارگتها میتوانند به درخواستی با صفحه پشتی مسی (Copper Backing Plate) نیز متصل شوند و در اندازهها و اشکال مختلف قابل سفارشیسازی هستند.
6 دیدگاه برای تارگت سرامیکی اکسید روی / اکسید آلومینیوم (AZO-ZnO/Al2O3)
زهرا اسدی –
امتیاز 5 از 5
آیا AZO واقعاً میتونه جایگزین ITO بشه؟
beny1365 –
بله، در بسیاری از کاربردها. مزایای اصلی AZO نسبت به ITO: هزینه بسیار پایینتر (چون روی و آلومینیوم ارزانتر از ایندیوم و قلع هستند)، سمیت کمتر و فراوانی مواد اولیه. اگرچه ITO هنوز در برخی پارامترها مانند رسانایی و پایداری در شرایط خاص برتری دارد، اما AZO یک جایگزین بسیار مقرونبهصرفه و قابل اعتماد است.
سالار اکبری –
امتیاز 5 از 5
منظور از “صفحه پشتی مسی (Copper Backing Plate)” چیه و آیا لازمه؟
beny1365 –
صفحه پشتی مسی یک قطعه مس است که پشت تارگت نصب میشود. دو وظیفه اصلی دارد: ۱. انتقال حرارت عالی از تارگت داغ به سیستم خنککننده. ۲. ایجاد اتصال الکتریکی مطمئن با منبع تغذیه دستگاه. برای تارگتهای سرامیکی/اکسیدی، اتصال به Back Plate (اغلب با چسب رسانا یا فلز ایندیوم) توصیه میشود تا از گرم شدن بیش از حد و ترک خوردن جلوگیری شود.
حمید محمدی –
امتیاز 5 از 5
مهمترین کاربرد این تارگت چیه؟
beny1365 –
اصلیترین کاربرد آن در ساخت لایههای نازک شفاف و رسانا (TCO) است. این لایهها در صفحهنمایشهای لمسی، سلولهای خورشیدی فیلم نازک، شیشههای کمگسیل (Low-E)، LEDها و پنجرههای هوشمند استفاده میشوند.
احسان زمانی –
امتیاز 5 از 5
آیا این تارگت با دستگاه اسپاترینگ RF کار میکنه یا DC؟
beny1365 –
پاسخ: AZO یک ماده نیمهرسانا با رسانایی نسبتاً خوب است. بنابراین میتوان از هر دو روش اسپاترینگ DC و RF برای پاشش آن استفاده کرد. استفاده از DC مگنترون رایجتر و سادهتر است و نرخ پوششدهی بالاتری دارد.
خشایار احمدی –
امتیاز 5 از 5
قیمت این تارگت چطوریه؟ نسبت به ITO و ZnO خالص؟
beny1365 –
قیمت آن به مراتب کمتر از ITO و کمی بیشتر از ZnO خالص است (به دلیل فرآیند آلایش و کنترل بیشتر). اما در کل، در رده مواد TCO مقرونبهصرفه قرار میگیرد.
سینا اهورایی –
امتیاز 5 از 5
پوشش AZO چه رنگی داره؟
beny1365 –
پوششهای نازک و باکیفیت AZO باید شفاف و بیرنگ باشند. هرگونه رنگ زرد یا خاکستری میتواند نشانهای از انحراف از استوکیومتری یا وجود ناخالصی باشد.
زهرا اسدی –
آیا AZO واقعاً میتونه جایگزین ITO بشه؟
beny1365 –
بله، در بسیاری از کاربردها. مزایای اصلی AZO نسبت به ITO: هزینه بسیار پایینتر (چون روی و آلومینیوم ارزانتر از ایندیوم و قلع هستند)، سمیت کمتر و فراوانی مواد اولیه. اگرچه ITO هنوز در برخی پارامترها مانند رسانایی و پایداری در شرایط خاص برتری دارد، اما AZO یک جایگزین بسیار مقرونبهصرفه و قابل اعتماد است.
سالار اکبری –
منظور از “صفحه پشتی مسی (Copper Backing Plate)” چیه و آیا لازمه؟
beny1365 –
صفحه پشتی مسی یک قطعه مس است که پشت تارگت نصب میشود. دو وظیفه اصلی دارد: ۱. انتقال حرارت عالی از تارگت داغ به سیستم خنککننده. ۲. ایجاد اتصال الکتریکی مطمئن با منبع تغذیه دستگاه. برای تارگتهای سرامیکی/اکسیدی، اتصال به Back Plate (اغلب با چسب رسانا یا فلز ایندیوم) توصیه میشود تا از گرم شدن بیش از حد و ترک خوردن جلوگیری شود.
حمید محمدی –
مهمترین کاربرد این تارگت چیه؟
beny1365 –
اصلیترین کاربرد آن در ساخت لایههای نازک شفاف و رسانا (TCO) است. این لایهها در صفحهنمایشهای لمسی، سلولهای خورشیدی فیلم نازک، شیشههای کمگسیل (Low-E)، LEDها و پنجرههای هوشمند استفاده میشوند.
احسان زمانی –
آیا این تارگت با دستگاه اسپاترینگ RF کار میکنه یا DC؟
beny1365 –
پاسخ: AZO یک ماده نیمهرسانا با رسانایی نسبتاً خوب است. بنابراین میتوان از هر دو روش اسپاترینگ DC و RF برای پاشش آن استفاده کرد. استفاده از DC مگنترون رایجتر و سادهتر است و نرخ پوششدهی بالاتری دارد.
خشایار احمدی –
قیمت این تارگت چطوریه؟ نسبت به ITO و ZnO خالص؟
beny1365 –
قیمت آن به مراتب کمتر از ITO و کمی بیشتر از ZnO خالص است (به دلیل فرآیند آلایش و کنترل بیشتر). اما در کل، در رده مواد TCO مقرونبهصرفه قرار میگیرد.
سینا اهورایی –
پوشش AZO چه رنگی داره؟
beny1365 –
پوششهای نازک و باکیفیت AZO باید شفاف و بیرنگ باشند. هرگونه رنگ زرد یا خاکستری میتواند نشانهای از انحراف از استوکیومتری یا وجود ناخالصی باشد.