تارگت سرامیکی اکسید روی / اکسید آلومینیوم (AZO-ZnO/Al2O3)

تارگت اسپاترینگ اکسید روی / اکسید آلومینیوم (AZO)

ترکیب معمولی: ZnO/Al2O3 = 98/2 wt%، 99/1 wt% و غیره

خلوص: 99.99%

روش تولید: پرس داغ (Hot Press Sintering)

ابعاد موجود:

• دایره‌ای: قطر = 1″، 2″، 3″ و 4″، سایر اندازه‌ها قابل سفارشی‌سازی
• مستطیلی: طول = 3 میلی‌متر و 6 میلی‌متر

تارگت‌های اسپاترینگ اکسید روی/اکسید آلومینیوم (AZO) از خلوص بالا و سطح یکنواخت برخوردارند و امکان تولید فیلم‌های نازک با کیفیت و همگن را در فرآیند PVD (تخلیه فیزیکی بخار) فراهم می‌کنند.

این تارگت‌ها می‌توانند به درخواستی با صفحه پشتی مسی (Copper Backing Plate) نیز متصل شوند و در اندازه‌ها و اشکال مختلف قابل سفارشی‌سازی هستند.