تارگت سرامیکی یتریوم اکساید (Y2O3)
امتیازدهی 5.00 از 5 در 6 امتیازدهی مشتری
(6 دیدگاه مشتری)
20
نفر در حال مشاهده این محصول هستند!
دستهبندی: تارگت سرامیکی
توضیحات
توضیحات
تارگت اسپاترینگ اکسید یتریوم
ستاپ قادر به تأمین یک سری کامل از تارگتهای اسپاترینگ سرامیکی و ترکیبی است، از جمله تارگتهای اسپاترینگ اکسید، کاربید، فلوراید، سولفید و غیره. فناوری تولید تارگتهای اسپاترینگ سرامیکی از روش پرس داغ استفاده میکند. از انتخاب مواد اولیه تا کنترل دقیق دما، فشار و زمان فرآیند پرس داغ، تمامی مراحل به دقت انجام میشود تا تارگتهای اسپاترینگ سرامیکی نهایی دارای ویژگیهای زیر باشند:
- خلوص بالا: تارگتهای اسپاترینگ اکسید یتریوم با خلوص 99.99% تولید میشوند که باعث تولید فیلمهای نازک با کیفیت بالا و خلوص بیشتر میشود.
- چگالی بالا: این تارگتها دارای چگالی بالا هستند که کمک میکند تا فیلمهای نازک همگن با نرخ فرسایش ثابت تولید شوند.
- رنگ یکنواخت سطحی: سطح تارگتها بدون لکه و ترک است و رنگ یکنواختی دارد که به تولید فیلمهای نازک با کیفیت کمک میکند.
مشخصات تارگت اسپاترینگ اکسید یتریوم (Y2O3):
- خلوص: 99.99%
- روش تولید: پرس داغ
- ابعاد قابل ارائه:
- تارگت دایرهای: قطر ≤ 3 میلیمتر
- تارگت مستطیلی: طول ≤ 3 میلیمتر
- حداقل مقدار سفارش: 1 عدد
- نوع اتصال: ایندیم، الاستومر
این تارگتها در صنایع مختلف، از جمله الکترونیک، پوششهای نازک، و فناوریهای پیشرفته برای تولید فیلمهای نازک اکسید یتریوم با ویژگیهای مطلوب به کار میروند.
6 دیدگاه برای تارگت سرامیکی یتریوم اکساید (Y2O3)
دیدگاه خود را بنویسید لغو پاسخ

اکبر جون نشان –
آیا این پوشش رسانای الکتریکی هست؟
beny1365 –
خیر، یک عایق الکتریکی خوب است. این خاصیت آن را برای کاربردهای دیالکتریک نیز مناسب میکند.
نازنین غفوری –
چرا باید از Y2O3 برای پوشش داخل محفظه اسپاترینگ استفاده کرد؟
beny1365 –
Y2O3 مقاومت فرسایشی فوقالعادهای در برابر پلاسما دارد. وقتی داخل محفظه را با آن میپوشانند، عمر قطعات افزایش مییابد، کاهش آلودگی فلزی در فرآیند اتفاق میافتد و پایداری فرآیند بهبود مییابد. در واقع از خود فرآیند در برابر خودش محافظت میکند!
آصف صابری –
نوع اتصال: ایندیم” یعنی چی؟ چرا تارگت رو باید به چیزی وصل کرد؟
beny1365 –
ایندیم یک فلز نرم است که به عنوان چسب رسانای حرارتی استفاده میشود. تارگت سرامیکی Y2O3 باید به یک صفحه پشتیبان مسی (Backing Plate) چسبانده (Bond) شود. دلیلش اینه که مس حرارت ایجاد شده در حین اسپاترینگ رو به خوبی منتقل میکنه و از داغ شدن بیش از حد و ترک خوردن تارگت گرانقیمت جلوگیری میکند.
سوسن عطری –
آیا این تارگت با دستگاه اسپاترینگ RF کار میکنه یا DC؟
beny1365 –
اکسید یتریوم یک عایق (دیالکتریک) است. بنابراین حتماً باید از دستگاه اسپاترینگ RF (فرکانس رادیویی) برای پاشش آن استفاده کرد. دستگاههای DC برای مواد رسانا طراحی شدهاند.
زهرا کاظمی –
روش تولید “پرس داغ” (Hot Pressing) چه مزیتی برای Y2O3 داره؟
beny1365 –
پرس داغ چگالی تارگت را به حداکثر ممکن (نزدیک به چگالی تئوری) میرساند. یک تارگت با چگالی بالا و تخلخل کم، نرخ پاشش یکنواختتر و قابل پیشبینیتری دارد، کمتر میترکد و در برابر شوکهای حرارتی در حین کار مقاومتر است.
نازی مبارکی –
خلوص ۹۹٫۹۹٪ (4N) برای این کاربرد ضروریه؟
beny1365 –
برای کاربردهای حساس نیمههادی و پلاسما، بله. ناخالصیها میتوانند تحت بمباران پلاسما منتشر (Sputter) شوند و به عنوان آلاینده وارد فیلم نازک مورد نظر شما بشوند. خلوص بالا باعث کاهش آلودگی متقاطع (Cross Contamination) میشود.