تارگت آلیاژی تنگستن تیتانیوم (WTi)
توضیحات
تارگت اسپاترینگ تنگستن تیتانیوم: ویژگیها و کاربردها در صنعت نیمههادی و سلولهای خورشیدی نازک فیلم
تارگتهای اسپاترینگ تنگستن تیتانیوم با استفاده از فناوری متالورژی پودر تولید میشوند و کاربردهای وسیعی در صنعت نیمههادی و سلولهای خورشیدی نازک فیلم دارند.
برای کاربرد در صنعت نیمههادی، فیلم نازک WTi10wt% به عنوان لایه موانع انتشار و چسبندگی استفاده میشود، تا لایههای متالیزه را از نیمههادی جدا کند. برای مثال، این فیلم میتواند آلومینیوم را از سیلیکون یا مس را از سیلیکون جدا کند. این عملکرد میتواند به طور چشمگیری عملکرد نیمههادی در میکروچیپها را بهبود بخشد.
برای سلولهای خورشیدی نازک فیلم، فیلم نازک WTi10wt% همچنین به عنوان لایه موانع برای جلوگیری از انتشار اتمهای آهن در زیرلایه فولادی به تماس پشت مولیبدن و نیمههادی CIGS استفاده میشود. تارگتهای تنگستن تیتانیوم همچنین برای پوششدهی ابزار و LED نیز به کار میروند.
کارخانه ما قادر به تولید تارگتهای WTi 90/10wt%، WTi 85/15wt% است و تارگتهای با ترکیب خاص بر اساس درخواست مشتری قابل تولید میباشند. چگالی واقعی تارگتها بیشتر از 99% است و اندازه متوسط دانهها:
احسان خانلری –
چگالی بالای ۹۹٪ چه اهمیتی داره؟
beny1365 –
چگالی بالا یعنی تخلخل (حفره) کم. تارگتهای با تخلخل بالا در حین اسپاترینگ ناپایدارند، ممکن است ترک بخورند یا ذرات ریز پرتاب کنند (آرکینگ). چگالی بالا تضمین میکند فرآیند پایدار، یکنواخت و بدون مشکل پیش برود.