این تارگتها با استفاده از تکنولوژی پیشرفته و مواد با خلوص بالا تولید میشوند و به دلیل ویژگیهای خاص خود از جمله نرخ فرسایش ثابت و فیلمهای نازک همگن، برای استفاده در فرآیند PVD بسیار مناسب هستند.
2 دیدگاه برای تارگت اسپارتینگ بور (B)
فرامرز احمدی –
امتیاز 5 از 5
آیا این تارگت با دستگاه اسپاترینگ RF کار میکنه یا DC؟
beny1365 –
بور یک نیمههادی است. بنابراین میتوان از هر دو روش اسپاترینگ DC و RF برای پاشش آن استفاده کرد. انتخاب روش بستگی به دستگاه و پارامترهای فرآیند مورد نظر شما دارد.
یاشار مکری –
امتیاز 5 از 5
آیا این بور خالصه یا ترکیب خاصی داره؟
beny1365 –
این تارگت از بور با خلوص ۹۹.۹٪ (3N) خالص ساخته شده. البته بور خالص میتواند چندین فرم آلوتروپ (مانند آمورف و کریستالی) داشته باشد که خواص متفاوتی میدهند. معمولاً تارگتهای اسپاترینگ از بور آمورف یا با ساختار ریزبلور ساخته میشوند تا پاشش یکنواختتری داشته باشند.
فرامرز احمدی –
آیا این تارگت با دستگاه اسپاترینگ RF کار میکنه یا DC؟
beny1365 –
بور یک نیمههادی است. بنابراین میتوان از هر دو روش اسپاترینگ DC و RF برای پاشش آن استفاده کرد. انتخاب روش بستگی به دستگاه و پارامترهای فرآیند مورد نظر شما دارد.
یاشار مکری –
آیا این بور خالصه یا ترکیب خاصی داره؟
beny1365 –
این تارگت از بور با خلوص ۹۹.۹٪ (3N) خالص ساخته شده. البته بور خالص میتواند چندین فرم آلوتروپ (مانند آمورف و کریستالی) داشته باشد که خواص متفاوتی میدهند. معمولاً تارگتهای اسپاترینگ از بور آمورف یا با ساختار ریزبلور ساخته میشوند تا پاشش یکنواختتری داشته باشند.