تارگت اسپاترینگ آلیاژ آلومینیوم-سیلیکون تولید شده توسط شرکت Xinkang دارای ویژگیهای خلوص بالا، چگالی بالا، ساختار داخلی یکنواخت و اندازه دانه کوچک میباشد. این ویژگیها موجب میشود که این تارگتها برای فرآیند اسپاترینگ و تولید فیلمهای نازک با کیفیت عالی مناسب باشند.
در زیر، نمونه گواهی تحلیل برای تارگت اسپاترینگ آلومینیوم-سیلیکون 99.999% خالص (AlSi 99/1wt%) آورده شده است:
ترکیبهای مختلف تارگت اسپاترینگ آلومینیوم-سیلیکون:
AlSi 99/1wt% Sputtering Target
AlSi 98/2wt% Sputtering Target
AlSiCu 98.5/1/0.5wt% Sputtering Target
این تارگتها بهطور گستردهای در صنعت اسپاترینگ برای تولید فیلمهای نازک با کیفیت بالا و استفاده در کاربردهای مختلف مانند پوششهای مقاوم در برابر خوردگی، الکترونیک و دیگر صنایع پیشرفته بهکار میروند.
7 دیدگاه برای تارگت آلیاژی آلومینیوم سیلیکون (AlSi)
سولماز اعتمادی –
امتیاز 5 از 5
تارگت AlSiCu چیه؟ چه زمانی به جای AlSi ساده ازش استفاده میکنن؟
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند.*
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند..
ماندانا خسروی –
امتیاز 5 از 5
این تارگت Al-Si دقیقاً کجاها استفاده میشه؟
beny1365 –
کاربرد اصلی آن در صنعت نیمههادی و میکروالکترونیک برای ایجاد لایههای اتصال (متالیزاسیون) روی ویفرهای سیلیکونی است. همچنین در پوششهای مقاوم به خوردگی، آینههای اپتیکی و برخی کاربردهای تزئینی هم استفاده میشود.
برای کاربردهای حساس الکترونیکی و نیمههادی، بله کاملاً لازمه. کوچکترین ناخالصی (مثل آهن یا مس) میتواند قابلیت اطمینان، رسانایی و یکنواختی لایه نازک را به شدت کاهش دهد و باعث خرابی چیپ شود. 5N استاندارد این صنعت است.
حمید ناصری –
امتیاز 5 از 5
آیا این تارگت جایگزین مناسبی برای تارگت مس (Cu) در برخی کاربردهاست؟
beny1365 –
نه کاملاً. مس رسانایی الکتریکی به مراتب بالاتری دارد. اما AlSi سبکتر، ارزانتر و از نظر فرآیندی (اتچ) سادهتر است. بنابراین در جاهایی که رسانایی فوقالعاده بالا لازم نیست، AlSi به عنوان یک گزینه متداول و قابل اطمینان استفاده میشود.
تانیا کرامتی –
امتیاز 5 از 5
ریزدانه بودن (اندازه دانه کوچک) چه تأثیری روی اسپاترینگ داره؟
beny1365 –
دانههای ریز و یکنواخت باعث میشوند تارگت به صورت هموار و با نرخ ثابت فرسایش یابد. این موضوع از ایجاد ناهمگونی در پوشش، ایجاد ذرات ریز (اسپاتر) و نوسان در ضخامت لایه جلوگیری میکند و کیفیت را تضمین مینماید.
کوروش سرابی –
امتیاز 5 از 5
روش اتصال این تارگت به Backing Plate چیه؟
beny1365 –
معمولاً از چسبهای رسانای حرارتی با کیفیت بالا (مانند چسب اپوکسی-نقره) یا روش لحیم کاری نرم تحت خلأ استفاده میشود. اتصال محکم و کامل برای انتقال حرارت مؤثر و جلوگیری از شکست تارگت ضروری است.
خسرو بانی –
امتیاز 5 از 5
پوشش AlSi چقدر در برابر خوردگی مقاومه؟
beny1365 –
پوشش آلومینیوم به خودی خود به دلیل تشکیل لایه اکسید محافظ، مقاومت به خوردگی خوبی دارد. افزودن سیلیکون میتواند این مقاومت را به ویژه در برابر خوردگی گالوانیکی بهبود بخشد. برای مقاومت عالی، اغلب پس از رسوبدهی یک عملیات حرارتی یا اکسیداسیون انجام میشود.
سولماز اعتمادی –
تارگت AlSiCu چیه؟ چه زمانی به جای AlSi ساده ازش استفاده میکنن؟
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند.*
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند..
ماندانا خسروی –
این تارگت Al-Si دقیقاً کجاها استفاده میشه؟
beny1365 –
کاربرد اصلی آن در صنعت نیمههادی و میکروالکترونیک برای ایجاد لایههای اتصال (متالیزاسیون) روی ویفرهای سیلیکونی است. همچنین در پوششهای مقاوم به خوردگی، آینههای اپتیکی و برخی کاربردهای تزئینی هم استفاده میشود.
سوفیا احمدیان –
خلوص 99.999% (5N) واقعاً لازمه؟ مگه آلومینیوم معمولی هم کافی نیست؟
beny1365 –
برای کاربردهای حساس الکترونیکی و نیمههادی، بله کاملاً لازمه. کوچکترین ناخالصی (مثل آهن یا مس) میتواند قابلیت اطمینان، رسانایی و یکنواختی لایه نازک را به شدت کاهش دهد و باعث خرابی چیپ شود. 5N استاندارد این صنعت است.
حمید ناصری –
آیا این تارگت جایگزین مناسبی برای تارگت مس (Cu) در برخی کاربردهاست؟
beny1365 –
نه کاملاً. مس رسانایی الکتریکی به مراتب بالاتری دارد. اما AlSi سبکتر، ارزانتر و از نظر فرآیندی (اتچ) سادهتر است. بنابراین در جاهایی که رسانایی فوقالعاده بالا لازم نیست، AlSi به عنوان یک گزینه متداول و قابل اطمینان استفاده میشود.
تانیا کرامتی –
ریزدانه بودن (اندازه دانه کوچک) چه تأثیری روی اسپاترینگ داره؟
beny1365 –
دانههای ریز و یکنواخت باعث میشوند تارگت به صورت هموار و با نرخ ثابت فرسایش یابد. این موضوع از ایجاد ناهمگونی در پوشش، ایجاد ذرات ریز (اسپاتر) و نوسان در ضخامت لایه جلوگیری میکند و کیفیت را تضمین مینماید.
کوروش سرابی –
روش اتصال این تارگت به Backing Plate چیه؟
beny1365 –
معمولاً از چسبهای رسانای حرارتی با کیفیت بالا (مانند چسب اپوکسی-نقره) یا روش لحیم کاری نرم تحت خلأ استفاده میشود. اتصال محکم و کامل برای انتقال حرارت مؤثر و جلوگیری از شکست تارگت ضروری است.
خسرو بانی –
پوشش AlSi چقدر در برابر خوردگی مقاومه؟
beny1365 –
پوشش آلومینیوم به خودی خود به دلیل تشکیل لایه اکسید محافظ، مقاومت به خوردگی خوبی دارد. افزودن سیلیکون میتواند این مقاومت را به ویژه در برابر خوردگی گالوانیکی بهبود بخشد. برای مقاومت عالی، اغلب پس از رسوبدهی یک عملیات حرارتی یا اکسیداسیون انجام میشود.