فوتورزیست S1813
شرایط کار:
۱- پوشش دهی چرخشی (speed = 2000-5000 rpm time = 20-30 second)
۲- پیش پخت(Pre bake)
۱۰ min < Time < 15 min
۱۰۰ °C < Temp (oven) < 110 °C
زمان پخت بستگی به ضخامت رزیست دارد.
۳- پرتو دهی با نور (i-line λ=۳۶۵ nm) UV
Time exposure = 20-30 second
۴- پرتودهی با نور آبی (g-line λ=۴۰۵ nm)
Time exposure = 180 second (3 min)
۵- پرتودهی با نور آبی(h-line λ=۴۳۶ nm)
Time exposure ≥ ۱۸۰ second (3 min)
۶- ظاهر سازی (developing)
Concentration ≤ ۰٫۱۵ – ۰٫۲۵M NaOH
غلظت M 15 معادل دو دانه قرص NaOHدر ۵۰میلی لیتر آب است.
غلظت ۰٫۲۵ Mحد ماکزیمم برای فوتو رزیست است.
۷- پخت تکمیلی یا سخت (post or hard bake )
۱۰ min < Time < 25 min
Temp = 110°C (oven)
نقد و بررسی‌ها
پاک‌کردن فیلترهاهنوز بررسی‌ای ثبت نشده است.