*این محصول در بسته های ۲۵ و ۵۰ سی سی ارائه می گردد*
فوتورزیست SU-8 یک فوتو رزیست منفی، برپایه اپوکسی و حساس به نور UV می باشد که برای کاربرد های MEMS و میکروالکترونیک و میکروفلوییدیک طراحی شده است. فوتورزیست SU-8 اولین بار توسط شرکت IBM ساخته و به ثبت رسیده است. زمانی که SU-8 تحت تابش نور فرابنفش قرار می گیرد زنجیره مولکولی آن با یکدیگر پیوند تشکیل می دهند و سبب می شود که SU-8 محکم و سفت شود، به همین دلیل به آن فوتورزیست منفی می گویند. فوتورزیست SU-8 برای نور فرابنفش، شفاف است و این ویژگی اجازه ساخت ساختارهای با ضخامت نسبتا زیاد ( تا چند صد میکرومتر ) با دیوار های عمودی را می دهد.
نمونه های جدید SU-8 را می توان به دو گروه کلی دسته بندی کرد:
الف) SU-8 سری ۲۰۰۰
ویژگی های فوتورزیست SU-8:
– ضخامت فیلم بین ۰٫۵ – ۲۰۰ میکرون
– بهبود چسبندگی نسبت به SU-8 استاندارد
– بهره بیشتر نسبت به SU-8 استاندارد
– مقاومت شیمیایی و گرمایی بالا
– شفافیت اپتیکی
ب) SU-8 سری ۳۰۰۰
ویژگی ها :
– ضخامت فیلم بین ۵-۱۲۰ میکرون
– بهبود چسبندگی بر روی زیر لایه ای خاص مانند اکسید ها و نیتراد ها
– دستیابی به ضخامت بالاتر از ۱۰۰ میکرون در یک بار لایه نشانی
– مقوامت بالا در برابر زدایش خشک
موارد کاربرد انواع SU-8:
- MEMS devices
- PDMS molding
- Inkjet nozzles
- Microfluidics
برخی تصاویر مربوط به فوتورزیست Su-8
جهت دریافت حلال su-8 developer از طریق لینک زیر اقدام نمایید.
نقد و بررسی‌ها
پاک‌کردن فیلترهاهنوز بررسی‌ای ثبت نشده است.