AFM (Atomic Force Microscopy)
میکروسکوپ نیروی اتمی از نوع میکروسکوپ های روبشی است و برای سنجش سطح و بررسی پستی و بلندی های سطح نمونه در مقیاس های اتمی به کار می رود. اساس کار میکروسکوپ نیروی اتمی بسیار ساده است، طبق شکل زیر، درون این دستگاه یک اهرم قرار دارد که زیر نوک آن یک لبه ی سوزنی شکل جای داده شده است، که به این اهرم کانتیلور می گویند. نوک سوزنی شکل باید در عین ظرافت بسیار مستحکم باشد تا بتواند پستی بلندی های سطح نمونه را در مقیاس نانومتری یا کمتر اندازه گیری کند. این اهرم به آرامی و با دقت بالا روی سطح نمونه مورد بررسی، حرکت می کند. به علت پستی و بلندی های سطح نمونه این اهرم در مقیاس بسیار کم جابه جا می شود. این جابه جایی توسط لیزر و دتکتور مرتبط با آن ردیابی می گردد. به این صورت که پشت اهرم (کانتیلور) آینه ای و صیقلی است و پرتو لیزر که به پشت اهرم می تابد از آن منعکس می شود، مکان برخورد نور انعکاسی به دتکتور با حرکت اهرم تغییر می کند و با اندازه گیری مکان نور لیزر منعکس شده می توان ارتفاع نقاط مختلف را بدست آورد.
