لیتوگرافی با فوتو رزیست

فوتولیتوگرافی

فوتو لیتوگرافی ( لیتوگرافی با فوتو رزیست ) به طور کلی انتقال شکل هندسی طراحی شده روی یک ماسک، به یک قطعه یا لایه نازک است. یا به عبارت دیگر الگودهی به لایه های نازک و قطعات خاص به وسیله لیتوگرافی صورت می گیرد. در شکل زیر تمام مراحل مربوط به فوتولیتوگرافی به صورت شماتیکی نمایش داده شده است.

لیتوگرافی با فوتو رزیست

کاربرد های لیتوگرافی:

صنایع نیمه هادی

میکرو الکترونیک

ساخت قطعات الکتریکی

ساخت سنسورها

الگودهی به انواع لایه ها

به طور کلی در لیتوگرافی از رزیست ها که نوعی پلیمرند، استفاده می گردد. رزیست ها به دو دسته کلی مثبت و منفی تقسیم می شوند. که در اثر قرار گرفتن در تابش نور پیوندهای آن در نوع مثبت (منفی) سست تر (محکم تر) می گردد.

مراحل لیتوگرافی با فوتورزیست مثبت:

-تمیز کردن سطح

-لایه نشانی فوتورزیست روی سطح نمونه با دستگاه اسپین کوتر

لیتوگرافی با فوتو رزیست

هر چه سرعت چرخش لایه بیشتر باشد، لایه فوتورزیست ایجاد شده نازک تر می گردد.

-گرمادهی به فوتورزیست برای خروج گازهای اضافی و خشک شدن لایه فوتورزیست روی لایه اصلی

-تنظیم و قرار دادن ماسک. ماسک لایه شفافی است که طرح مورد نظر روی آن به صورت تیره نقش بسته است.

لیتوگرافی با فوتو رزیست

نمونه ای از ماسک تهیه شده در ۳etop

– نوردهی با طول موج مناسب. در این مرحله پیوند شیمیایی قسمت هایی از فوتورزیست که به آن نور تابانده می شود، سست می گردد.

– پاک کردن لایه سست شده فوتورزیست با حلال مخصوص( development )، پس از این مرحله روی لایه اولیه یک لایه فوتورزیست باقی می ماند که دقیقا طرح ماسک را به خود گرفته است.

لیتوگرافی با فوتو رزیست

-زدودن قسمت های بدون پوشش فوتورزیستی لایه به وسیله حلال مخصوص(مرحله Etching)

-گرمادهی به طرح فوتورزیستی ایجاد شده روی لایه برای مستحکم تر شدن آن(Post Baking)

-پاک کردن لایه فوتورزیست از روی لایه

در مرحله نوردهی می توان لایه فوتورزیست را به شکلی نور دهی کرد که الگویی هم اندازه با ماسک روی آن ایجاد گردد ( یک به یک ) یا به وسیله چند عدسی به نحوی نور دهی نمود که طرح کوچکتری از ماسک روی لایه بیفتد. که نوع دوم را لیتوگرافی کاهش یافته(reduction) می گویند.

اگر به جای رزیست مثبت از نوع منفی استفاده گردد. مکان های قرار گرفته در زیر قسمت شفاف ماسک که نور می خورند باقی می مانند و طرحی که ایجاد می شود مکمل طرح ایجاد شده با فوتورزیست مثبت خواهد بود.

نمونه  کارهای لیتوگرافی شده:

لیتوگرافی با فوتو رزیست

لیتوگرافی با فوتو رزیست

 

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.

1 پاسخ

دیدگاه خود را ثبت کنید

تمایل دارید در گفتگوها شرکت کنید؟
در گفتگو ها شرکت کنید.

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *