ویفر اکسید سیلیکون

روش های تولید سیلیکون

جدول محتواها

تولید سیلیکون

یک روش مرسوم تولید تک بلور سیلیکون، روش Czochraski (CZ) Crystal growing  است. سیلیکون های مورد استفاده در آی سی ها عمدتا از این روش تولید می گردند. در این روش Si با خلوص مناسب را درون کوره (از جنس کواترز با پوشش گرافیت) به وسیله دادن حرارت توسط هیتر کربنی مذاب می نمایند. سپس یک قطعه بلور سیلیکون کاملا کریستالی را در نوک یک میله قرار می دهند. این میله را درون مایع مذاب سیلیکون وارد می نمایند. این میله به آرامی درون سیلیکون مذاب شروع به چرخش می کند و آرام آرام از آن خارج می گردد. در طی این فرآیند اتم های سیلیکون درون مایع مذاب به آرامی روی سیلیکون بلوری در سر میله با نظم بلوری کریستال اولیه  قرار می گیرند و بدین ترتیب کم کم کریستال اولیه به واسطه ی قرار گیری اتم های جدید در اطرافش با همان نظم بلوری اولیه رشد می کند. شکل زیر شماتیک این روش را نشان می دهد. تولید سیلیکن این قطعه حاصل کریستالی را ingot می نامند. قطعه کریستالی خارج شده در نهایت با روش هایی همچون استفاده از لیزر به صفحات و قطعات کوچکتر تقسیم می گردد. (شکل های زیر) تولید سیلیکنتولید سیلیکن  تولید سیلیکن برای بهبود این روش از میدان های مغناطیسی بهره می برند.  

روش دیگر روش تولید تک بلور سیلیکون، روش Float Zone Crystal Growth است.

در این روش یک کریستال منظم و تک بلوری کریستال در انتهای یک پلی کریستال سیلیکون قرار می گیرد. پلی کریستال مجموعه ای از میلیون ها قطعه ی بلوری کوچک سیلیکون است که با جهت گیری کاتوره ای در کنار هم قرار گرفته اند. یک سیم پیچ در دور این مجموعه قرار می گیرد که با عبور جریان از آن پلی کریستال به صورت موضعی مذاب می گردد. این سیم پیچ در طول استوانه ی پلی کریستال به آرامی شروع به حرکت می کند و بلافاصله بعد از گذشتن سیم پیچ از یک ناحیه اتم های مذاب شده با نظم بلوری جدید کریستالی و جامد می گردند. این روند ادامه می یابد تا کل پلی کریستال به صورت یک تکه کریستال منظم در بیاید. یعنی پلی کریستال در حین فرآیند در نواحی کوچکی ذوب می گردد و هر ناحیه در هنگام جامد شدن پس از ذوب نظم بلوری قسمت قبل را می گیرد. شماتیک این روش در زیر آمده است. تولید سیلیکن تولید سیلیکن سیلیکون حاصل از این روش نسبت به روش اول خلوص بالاتری دارد. در روش اول به علت حضور اکسیژن در محیط و بوته ی دارای اتم های کربن، ناخالصی هایی از جنس کربن و اکسیژن در سیلیکون وجود دارد.     به طور کلی به فرآیند تزریق ناخالصی ها درون سیلیکون (برای بدست آوردن سیلیکون های نوع N یا P و یا تغییر میزان و یا نوع ناخلصی ها) dopping می گویند. سیلیکون های بدست آمده از روش های بالا عموما از نوع N-type هستند. برای تولید سیلیکون P-type ناخالصی هایی از جنس موادی چون بور و نیتروژن، باید به داخل بلور سیلیکون وارد گردد. به همین علت سیلیکون های نوع P قیمت بالاتری دارند.  

اکسید سیلیکون یا Silicon Oxide

برای ایجاد لایه SiO2  بر روی بلور سیلیکون، سیلیکون بلوری درون کوره ای در دمای بالا به همراه گاز اکسیژن (برای ضخامت بیشتر سطح اکسید شده می توان از پلاسما استفاده کرد.) قرار می گیرد. بسته به مواردی از جمله دمای کوره، فشار گاز اکسیژن، زمان قرار گیری بلور سیلیکون در کوره و … اتم های اکسیژن تا عمقی درون سطح سیلیکون نفوذ می کنند و سطح روی بلور اکسید می گردد. البته این عمق نفوذ محدود است و در بهترین شرایط هم از یک مقدار حدی فراتر نخواهد رفت.

62 فکر در مورد “روش های تولید سیلیکون

  1. ایرج زلقی گفت:

    سلام
    خسته نباشید در مورد تولید لاستیک سیلیکون اطلاعاتی خواستم
    ممنون می شم

    1. بنیامین خسروی گفت:

      سلام
      بصورت تلفنی با شما صحبت کردیم
      ممنون از ارسال نظرتون

  2. پروین بهبهانی گفت:

    آیا تغییر در خلوص سیلیکون‌های تولید شده به روش Float Zone نسبت به CZ، منجر به تفاوت‌های قابل‌توجهی در خصوصیات الکتریکی محصولات سیلیکونی نهایی می‌شود؟

  3. نیکزاد میردامادی گفت:

    برای تولید محصولات سیلیکونی با ویژگی‌های خاص، آیا روشی بهتر از Czochralski وجود دارد که خلوص و کیفیت بیشتری ارائه دهد؟ توصیفات شما در مورد تفاوت‌های دو روش بسیار مفید بود.

  4. چنگیز عراقی گفت:

    آیا استفاده از بوته‌های با مواد مختلف در روش Czochralski می‌تواند بر خواص نهایی سیلیکون تأثیر بگذارد؟ تفاوت‌های تأثیر همچون ناپایداری حرارتی چگونه است؟

  5. پردیس سرمد گفت:

    در توضیحاتتان به dopping پرداختید، می‌توانید بیشتر درباره نحوه کنترل دقیق بر فرآیند dopping در تولید سیلیکون نوع P توضیح دهید؟

  6. فرحناز امین‌زاده گفت:

    آیا تولید محصولات سیلیکونی به شیوه‌های ذکر شده در این محتوا نیازمند کارگاه‌های ویژه و تجهیزات پیشرفته است؟ استفاده از میدان‌های مغناطیسی تا چه حد مهم و تأثیرگذار است؟

  7. دولت عارف گفت:

    برای عام کردن این روشی که برای تولید سیلیکون مطالعه کردم، چقدر هزینه بر میداره؟ آیا تولید سیلیکون P-type همیشه ارزش قیمت بالاتر داره؟

  8. ساسان ضرغامی گفت:

    چطور مقاومت محصولات سیلیکونی که به روش Float Zone ساخته شده با محصولات Czochralski متفاوت هست، اثر خلوص بالاتر در این زمینه چجوریه؟

  9. فرّخ زمردیان گفت:

    برای اینکه بخوام یه کارخانه تولید محصولات سیلیکونی بزنم، چه مهارت‌هایی لازم داره؟ دمای بالای کوره آیا خطر داره؟ روش‌هایی برای ایمنی کارگران دارین؟

  10. آنوش نجفی گفت:

    با توجه به تفاوت‌های خلوص در دو روش تولید، آیا روش خاصی برای کنترل و تست کیفیت نهایی سیلیکون‌های تولیدی پیشنهاد می‌کنید؟

  11. فرهنگ محمدرضایی گفت:

    این داستان میدان مغناطیسی که می‌گید چیه؟ چرا در تولید سیلیکون‌ها مهمه؟ همون روش قدیمیه بهتر نیست؟ بهبودش چه تاثیری داره؟

  12. برمک شبستری گفت:

    این روش Czochraski برای تولید سیلیکون چقدر می‌تواند در کاهش هزینه‌ها و افزایش کارایی تولید محصولات سیلیکونی مفید باشد؟

  13. الناز سحاب گفت:

    متوجه شدم که تولید سیلیکون به روش Czochraski خلوص بالایی دارد. آیا این روش برای تولید محصولات سیلیکونی خاصی مناسب‌تر است؟

  14. گلشیفته محمدرضایی گفت:

    در روش دوم، چطور وضعیت خلوص سیلیکون خروجی به‌طور خاص‌تر پایش می‌شود؟ آیا استفاده از میدان‌های مغناطیسی در اینجا هم تاثیری دارد؟

  15. روزچهر هاشمی گفت:

    چرا سیلیکون‌های تولید شده به روش Float Zone Crystal Growth از خلوص بالاتری برخوردار هستند؟ این خلوص چطور بر کیفیت محصولات سیلیکونی تاثیر می‌گذارد؟

  16. الهه اصفهانی گفت:

    روش dopping برای ناپخت بالموت مواد سیلیکون چقدر در تولید آی‌سی‌های پیشرفته تاثیرگذار است؟ این فرآیند چگونه بر قیمت نهایی تأثیر می‌گذارد؟

  17. فریمان آشتیانی گفت:

    برای یک کسی که تازه وارد حوزه تولید محصولات سیلیکونی شده، چطور می‌توان اهمیت خلوص سیلیکون را توضیح داد؟ سیلیکون P-type چه برتری‌هایی دارد؟

  18. شایسته معارف گفت:

    اینکه چگونه سیم پیچ در روش Float Zone Crystal Growth حرکت می‌کند و تاثیر این حرکت بر تولید سیلیکون خالص چقدر است؟

  19. مهشید بهاور گفت:

    چقدر در تولید سیلیکون، روش های dopping و ایجاد لایه‌های SiO2 بر روی بلور، در بهبود عملکرد محصولات تاثیر دارند؟

  20. پویان صدیقی گفت:

    روش‌های تولید سیلیکون چه تفاوت‌هایی در بهره‌وری و کارایی دارند؟ آیا اهمیت بیشتری به خلوص محصول نهایی می‌دهند یا به قیمت؟

  21. روشنک فرهنگ گفت:

    آیا استفاده از پلاسما در فرایند اکسید سیلیکون می‌تواند به بهبود و کاهش هزینه در تولید محصولات سیلیکونی منجر شود؟

  22. اکبر غنی گفت:

    لطفاً توضیح دهید که چرا استفاده از روش Czochralski برای تولید محصولات سیلیکونی در صنعت آی‌سی متداول‌تر است؟ آیا مزیت‌های خاصی دارد؟

  23. منصوره حقیقی گفت:

    ممنون از توضیحات جامع درباره تولید سیلیکون. می‌خواستم بپرسم تولید سیلیکون به روش Float Zone چه تأثیری روی خلوص نهایی این ماده دارد و محصولات سیلیکونی چگونه ساخته می شوند؟

  24. روزچهر انوشه گفت:

    آیا روشی که برای تزریق ناخالصی‌ها در سیلیکون استفاده می‌شود می‌تواند بر کیفیت یا ویژگی‌های الکتریکی محصول نهایی تاثیر بگذارد؟ چطور این تاثیرات کنترل می‌شوند؟

  25. مهرزاد صدیق گفت:

    می‌خواستم بدونم در فرآیند dopping چه نوع تغییراتی در فرمول سیلیکون ایجاد میشه و این تغییرات چه تأثیری بر عملکرد نهایی محصولات سیلیکونی دارند؟

  26. مینا ادیانی گفت:

    آیا فرمول سیلیکون در تمامی مراحل تولید محصولات سیلیکونی به یک صورت است؟ تفاوت‌های احتمالی در فرمول می‌تواند چه تاثیری بر کیفیت محصول نهایی داشته باشد؟

  27. سلما ساعی گفت:

    من تازه با موضوع سیلیکون آشنا شدم. می‌شه توضیح بدید چرا سیلیکون‌های نوع P قیمت بالاتری دارن؟ هزینه فرمول سیلیکون چه نقشی در این افزایش دارد؟

  28. شیرین پیوندی گفت:

    ممنون میشم توضیح بدید اکسید سیلیکون چطور تولید میشه و چرا استفاده از پلاسما در این فرآیند موثرتره؟ آیا این روش به تولید محصولات سیلیکونی با کیفیت کمک می‌کنه؟

  29. منیره صفوی گفت:

    من نمی‌دونستم سیلیکون چطور ساخته می‌شه، مطالب خیلی جالب بود. سیلیکون‌های N-type چطور تولید می‌شوند و آیا فرمول سیلیکون در این فرآیند تغییر می‌کند؟

  30. امید پارسی گفت:

    در خصوص روش Float Zone، میشه بفرمایید این روش چطور خلوص سیلیکون رو افزایش میده؟ این مساله چطور به افزایش عملکرد محصولات سیلیکونی کمک می‌کنه؟

  31. ساغر توسلی گفت:

    من نمی‌دونم سیلیکون چطور ساخته می‌شه. آیا استفاده از روش Czochralski برای تولید محصولات سیلیکونی تأثیر زیادی در کیفیت و قیمت نهایی داره؟

  32. مهنوش جعفریان گفت:

    ممنون از توضیحات کاملی که درباره تولید سیلیکون و فرآیندهای مختلف ارائه دادید! آیا جزئیاتی اضافی درباره اهمیت خلوص سیلیکون در تولید محصولات سیلیکونی دارید؟

  33. تورج کوشکی گفت:

    توضیحات بسیار مفیدی بودند. سوالی داشتم: آیا روش Czochraski (CZ) هزینه بیشتری نسبت به روش Float Zone دارد، و این هزینه چگونه توجیه می‌شود در صنعت؟

  34. مه سیما عبدالملکی گفت:

    بسیار عالی و شفاف توضیح دادید! می‌خواستم بپرسم آیا تفاوت خاصی در کیفیت نهایی محصولات سیلیکونی بین دو روش تولیدی ذکر شده وجود دارد؟ اگر بله، در چه سطحی؟

  35. نیوشا کمالی گفت:

    محتوای بسیار جذاب و علمی بود. آیا امکان توضیحی درباره نحوه بهبود خلوص در روش Czochraski (CZ) Crystal وجود دارد؟ تفاوت آن با فرمول سیلیکون چیست؟

  36. انوش فهمیده گفت:

    ممنون بابت ارائه مطلب دقیق و کاربردی. آیا می‌توانید بفرمایید که استفاده از میدان مغناطیسی در روش Czochraski چطور به بهبود کیفیت تولید محصولات سیلیکونی کمک می‌کند؟

  37. گلبرگ زمردیان گفت:

    خیلی خوب بود. فقط این سوال پیش اومد برام که چرا سیلیکون P-type نسبت به N-type گران‌تره؟ این تفاوت قیمت بر چه اساسی تعیین می‌شود؟

  38. میشا نامور گفت:

    خیلی خوب توضیح دادید. سوالی داشتم: چطور اکسید سیلیکون روی بلور ایجاد میشه؟ آیا این فرآیند تأثیری بر خواص مکانیکی یا شیمیایی سیلیکون نهایی داره؟

  39. سحر طریقت گفت:

    مطلب خوبی بود. می‌خوام بدونم چرا بعضی وقت‌ها از لیزر برای برش کریستال استفاده می‌کنن؟ آیا روشی بهتر برای تولید سیلیکون ساخته شده؟

  40. پژواک روزبه گفت:

    اطلاعات ارزشمندی بود! سوالی دارم: آیا روش‌های تولید دیگر وجود دارند و در کجاها بیشتر استفاده می‌شوند؟ تفاوت این روش‌ها با هم چیه؟

  41. پولاد واثقی گفت:

    سلام. این فرآیندهای تولید سیلیکون خیلی پیچیده‌ان! سیلیکون چگونه ساخته می‌شود و در صنعت برای چه استفاده‌های گسترده‌تری داره؟

  42. وجیهه موسوی گفت:

    روش CZ برای تولید محصولات سیلیکونی بسیار جالب است. آیا این روش قابلیت استفاده در مقیاس صنعتی دارد؟ و تاثیر خلوص در تولید سیلیکون چگونه ارزیابی می‌شود؟

  43. مهرانه بهبهانی گفت:

    روش های تولید سیلیکون شناخته شده اند، اما چگونگی استفاده از میدان های مغناطیسی در پیشرفت این روش ها توضیح داده نشده است. آیا میتوان جزئیات بیشتری ارائه دهید؟

  44. پارسا حبیبی گفت:

    به نظر می‌رسد استفاده از روش Float Zone برای تولید سیلیکون با کیفیت‌تر مناسب‌تر است. آیا این روش به دلیل هزینه‌های بالاتر سردمدار بازار صنعتی است؟

  45. پریچهر قهرمانی گفت:

    تولید محصولات سیلیکونی با خلوص بالا در روش Float Zone جالب توجه است. آیا روش دیگری برای کاهش ناخالصی‌ها وجود دارد که به هزینه تولید نیز کمک کند؟

  46. روزچهر خوئینی گفت:

    فرمول سیلیکون و تولید محصولات سیلیکونی همیشه برایم مجهول بوده. تشریح فرآیند تولید آن واقعا جالب است. آیا این فناوری می‌تواند در ابزارهای الکترونیکی هم کاربرد داشته باشد؟

  47. الیا رجایی گفت:

    سیلیکون چگونه ساخته می شود و نقش میدان‌های مغناطیسی در این فرآیند چیست؟ آیا استفاده از این روش‌ها در تولید چیپ‌های الکترونیکی مقرون به صرفه است؟

  48. افشار ابتکار گفت:

    تولید سیلیکون با روش Czochraski بیشترین استفاده را در صنایع دارد؟ آیا در بازار فعلی، روش Float Zone رقیب قدرتمندی محسوب می‌شود؟

  49. ارمیا نوبختی گفت:

    چگونه پلی کریستال‌ها در روش Float Zone به کریستال تبدیل می‌شوند؟ آیا این روش در تولید محصولات سیلیکونی در هر سایزی قابل استفاده است؟

  50. بهدخت نعمت‌زاده گفت:

    می‌خواهم بدانم روش‌های تفکیک کریستال‌های سیلیکونی به چه شکلی انجام می‌شود؟ آیا استفاده از لیزر در این فرآیند انتخاب بهینه‌ای است؟

  51. ساویز امانت گفت:

    فرمول سیلیکون و نحوه تولید آن با جزئیات ارائه شده بسیار آموزنده است. آیا روش‌های مشابهی هم برای تولید دیگر عناصر کریستالی وجود دارد؟

  52. بهناک هدایت گفت:

    روش Czochraski در تولید سیلیکون بسیار جالب است. آیا امکان دارد توضیحات بیشتری در مورد نقشی که میدان‌های مغناطیسی در بهبود این روش دارند، بدهید؟

  53. ارشام بهبهانی گفت:

    به نظر می‌رسد روش Float Zone برای تولید محصولات سیلیکونی خلوص بیشتری دارد. چطور از این روش در صنایع مختلف استفاده می‌شود؟

  54. مهرورز شریفیان گفت:

    سلام. مقاله بسیار جالبی بود. تولید سیلیکون چگونه ساخته می شود و چه عواملی بر کیفیت نهایی تاثیر می‌گذارند؟

  55. گیتا ناظری گفت:

    روش‌های مختلف تولید سیلیکون به چه میزان در صرفه‌جویی منابع طبیعی تفاوت دارند؟ آیا مزایای موجب انتخاب یکی بر دیگری می‌شود؟

  56. آرام کیانی گفت:

    برای تولید سیلیکون P-type چه مواردی در dopping موثرند؟ آیا تفاوت‌های قیمت بین سیلیکون‌های N-type و P-type قابل توجه است؟

  57. نازی نامور گفت:

    ممنون از توضیحات. زمانی که فرمول سیلیکون از روش‌های مختلف تهیه می‌شود، چگونه بر عملکرد قطعات الکترونیکی تاثیر می‌گذارد؟

  58. ضیا عاشوری گفت:

    آیا تفاوت قابل‌توجهی در هزینه تولید سیلیکون از روش‌های مختلف وجود دارد؟ این هزینه‌ها چگونه بر قیمت محصولات سیلیکونی تاثیر می‌گذارد؟

  59. نوید آهنگری گفت:

    در ارتباط با لعاب‌گذاری سیلیکون و تولید اکسیژن، چه عواملی می‌توانند ضخامت و کیفیت لایه SiO2 را تحت تاثیر قرار دهند؟

  60. آذرخش آهنگر گفت:

    سلام، مقاله‌ای بسیار آموزنده. آیا امکان دارد درباره نحوه کنترل ضخامت لایه‌های سیلیکونی در حین فرآیند تولید توضیح دهید؟

  61. ارستو آدینه گفت:

    فرآیند dopping در تولید محصولات سیلیکونی چگونه انجام می‌شود و چه تاثیری بر ویژگی‌های نهایی محصول دارد؟

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *