لیتوگرافی کاهنده ماسک
لیتوگرافی کاهنده ماسک فرآیندی است که طی آن طرح و الگوی دلخواه را با دقت بالا بر روی سطح مورد نظر ایجاد می کنند .
دسترسی به دقتهای بالا ، ورود به دنیای میکروسکوپی ، سرعت پاسخ دهی بالا، اندازه کوچک قطعات و هزینه پایین از جمله ویژگی های این روش می باشند.
