شماره تلفن02186093569
آدرس ایمیل3top.st@gmail.com
بازرگانی و تامین لوازم آزمایشگاهی ستاپ
سبد خرید خالی است.

لایه نشانی

لایه نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون Electron Beam

در این روش با باریکه الکترونی ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن تخلیه شده تا فشارمحیط به ۵-۱۰ تور برسد. سپس با اعمال ولتاژ به یک تفنگ (گان) الکترونی، الکترون ها به ماده هدف(تارگت) برخورد کرده و سبب تبخیر آن می شود. به دلیل انرژی بالاتر الکترونها نسبت به تبخیر حرارتی مقاومتی چسبندگی بهتری در این روش بدست می آید ، این فرآیند توسط کریستال کوارتز در حین انجام لایه نشانی کنترل شده تا ضخامت مورد حاصل شود.

 

تجهیزات مورد استفاده:

دستگاه تبخیر با باریکه الکترون (Electron Beam) ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۱

شرایط :

  • انجام لایه نشانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر نمونه
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه ­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی مقاومتی PVD(Pysical Vapor Deposition)

در این روش ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن به خلا مورد نظر می رسد سپس با استفاده از یک منبع جریان بالا دمای فلز هدف (تارگت) بالا می رود و در نهایت ماده مورد نظر ابتدا ذوب و سپس تبخیر می شود و فرآیند آغاز می گردد.این فرآیند توسط کریستال کوارتز ضخامت سنج در حین لایه نشانی کنترل شده تا لایه به  ضخامت مورد نظر برسد.

تجهیزات:

دستگاه تبخیر حرارتی(Physical Vapor Deposition)  ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۲

شرایط :

  • انجام لایه نسانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

 

لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC (Vacuum DC Magnetron Sputtering System)

در این روش محفظه با استفاده از پمپهای روتاری و توربو مولکولی با فشار پایه ۶-۱۰ تور می رسد و با ورود گاز حامل فشار فشار افزایش می یابد. با اعمال ولتاژ DC بین تارگت و زیرلایه پلاسما تشکیل شده و لایه نشانی آغاز می گردد. به دلیل انرژی بسیار بالای استفاده شده در این روش چسبندگی لایه ها بسیار مطلوب خواهد بود.

 

تجهیزات :

دستگاه لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۳

شرایط:

  • انجام لایه نشانی با فشار پایه ۵-۱۰تور با استفاده از پمپ های روتاری و توربو مولکولی
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۳ اینچی
  • قابلیت لایه نسانی برای شش ویفر بصورت همزمان
  • تارگت با ابعاد ۲ اینچ
  • توان منبع ولتاژ DC 1 کیلووات
  • حجم محفظه ۶۰ لیتر
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.