لایه نشانی

لایه نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون Electron Beam

در این روش با باریکه الکترونی ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن تخلیه شده تا فشارمحیط به ۵-۱۰ تور برسد. سپس با اعمال ولتاژ به یک تفنگ (گان) الکترونی، الکترون ها به ماده هدف(تارگت) برخورد کرده و سبب تبخیر آن می شود. به دلیل انرژی بالاتر الکترونها نسبت به تبخیر حرارتی مقاومتی چسبندگی بهتری در این روش بدست می آید ، این فرآیند توسط کریستال کوارتز در حین انجام لایه نشانی کنترل شده تا ضخامت مورد حاصل شود.

 

تجهیزات مورد استفاده:

دستگاه تبخیر با باریکه الکترون (Electron Beam) ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۱

شرایط :

  • انجام لایه نشانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر نمونه
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه ­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی مقاومتی PVD(Pysical Vapor Deposition)

در این روش ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن به خلا مورد نظر می رسد سپس با استفاده از یک منبع جریان بالا دمای فلز هدف (تارگت) بالا می رود و در نهایت ماده مورد نظر ابتدا ذوب و سپس تبخیر می شود و فرآیند آغاز می گردد.این فرآیند توسط کریستال کوارتز ضخامت سنج در حین لایه نشانی کنترل شده تا لایه به  ضخامت مورد نظر برسد.

تجهیزات:

دستگاه تبخیر حرارتی(Physical Vapor Deposition)  ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۲

شرایط :

  • انجام لایه نسانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

 

لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC (Vacuum DC Magnetron Sputtering System)

در این روش محفظه با استفاده از پمپهای روتاری و توربو مولکولی با فشار پایه ۶-۱۰ تور می رسد و با ورود گاز حامل فشار فشار افزایش می یابد. با اعمال ولتاژ DC بین تارگت و زیرلایه پلاسما تشکیل شده و لایه نشانی آغاز می گردد. به دلیل انرژی بسیار بالای استفاده شده در این روش چسبندگی لایه ها بسیار مطلوب خواهد بود.

 

تجهیزات :

دستگاه لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۳

شرایط:

  • انجام لایه نشانی با فشار پایه ۵-۱۰تور با استفاده از پمپ های روتاری و توربو مولکولی
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۳ اینچی
  • قابلیت لایه نسانی برای شش ویفر بصورت همزمان
  • تارگت با ابعاد ۲ اینچ
  • توان منبع ولتاژ DC 1 کیلووات
  • حجم محفظه ۶۰ لیتر
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.