تارگت اسپاترینگ آلیاژ آلومینیوم-سیلیکون تولید شده توسط شرکت Xinkang دارای ویژگیهای خلوص بالا، چگالی بالا، ساختار داخلی یکنواخت و اندازه دانه کوچک میباشد. این ویژگیها موجب میشود که این تارگتها برای فرآیند اسپاترینگ و تولید فیلمهای نازک با کیفیت عالی مناسب باشند.
در زیر، نمونه گواهی تحلیل برای تارگت اسپاترینگ آلومینیوم-سیلیکون 99.999% خالص (AlSi 99/1wt%) آورده شده است:
ترکیبهای مختلف تارگت اسپاترینگ آلومینیوم-سیلیکون:
AlSi 99/1wt% Sputtering Target
AlSi 98/2wt% Sputtering Target
AlSiCu 98.5/1/0.5wt% Sputtering Target
این تارگتها بهطور گستردهای در صنعت اسپاترینگ برای تولید فیلمهای نازک با کیفیت بالا و استفاده در کاربردهای مختلف مانند پوششهای مقاوم در برابر خوردگی، الکترونیک و دیگر صنایع پیشرفته بهکار میروند.
3 دیدگاه برای تارگت آلیاژی آلومینیوم سیلیکون (AlSi)
سولماز اعتمادی –
امتیاز 5 از 5
تارگت AlSiCu چیه؟ چه زمانی به جای AlSi ساده ازش استفاده میکنن؟
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند.*
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند..
ماندانا خسروی –
امتیاز 5 از 5
این تارگت Al-Si دقیقاً کجاها استفاده میشه؟
beny1365 –
کاربرد اصلی آن در صنعت نیمههادی و میکروالکترونیک برای ایجاد لایههای اتصال (متالیزاسیون) روی ویفرهای سیلیکونی است. همچنین در پوششهای مقاوم به خوردگی، آینههای اپتیکی و برخی کاربردهای تزئینی هم استفاده میشود.
برای کاربردهای حساس الکترونیکی و نیمههادی، بله کاملاً لازمه. کوچکترین ناخالصی (مثل آهن یا مس) میتواند قابلیت اطمینان، رسانایی و یکنواختی لایه نازک را به شدت کاهش دهد و باعث خرابی چیپ شود. 5N استاندارد این صنعت است.
سولماز اعتمادی –
تارگت AlSiCu چیه؟ چه زمانی به جای AlSi ساده ازش استفاده میکنن؟
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند.*
beny1365 –
AlSiCu همان آلیاژ Al-Si است که مس (Cu) هم به آن اضافه شده (مثلاً 0.5٪). مس مقاومت در برابر “مهاجرت اتمی” (Electromigration) را بسیار بهبود میبخشد. زمانی استفاده میشود که لایههای اتصال باید جریانهای بالاتر را با قابلیت اطمینان بیشتر منتقل کنند..
ماندانا خسروی –
این تارگت Al-Si دقیقاً کجاها استفاده میشه؟
beny1365 –
کاربرد اصلی آن در صنعت نیمههادی و میکروالکترونیک برای ایجاد لایههای اتصال (متالیزاسیون) روی ویفرهای سیلیکونی است. همچنین در پوششهای مقاوم به خوردگی، آینههای اپتیکی و برخی کاربردهای تزئینی هم استفاده میشود.
سوفیا احمدیان –
خلوص 99.999% (5N) واقعاً لازمه؟ مگه آلومینیوم معمولی هم کافی نیست؟
beny1365 –
برای کاربردهای حساس الکترونیکی و نیمههادی، بله کاملاً لازمه. کوچکترین ناخالصی (مثل آهن یا مس) میتواند قابلیت اطمینان، رسانایی و یکنواختی لایه نازک را به شدت کاهش دهد و باعث خرابی چیپ شود. 5N استاندارد این صنعت است.