تارگت آلیاژی آلومینیوم مس (AlCu)
توضیحات
تارگت آلیاژ آلومینیوم-مس (AlCu) برای تولید مدارهای مجتمع: ویژگیها و کاربردها
تارگت آلیاژ آلومینیوم-مس (AlCu) با استفاده از فناوری ذوب خلا تولید میشود و معمولاً به عنوان مواد واسط در تولید مدارهای مجتمع (IC) مورد استفاده قرار میگیرد. در مقایسه با واسطهای آلومینیومی، آلومینیوم-مس با خلوص بالا (AlCu با 0.5-4% مس) دارای ساختار میکروسکوپی درونی یکنواختتری است که باعث بهبود عملکرد جابهجایی الکترونی و انتشار به سمت ویفر میشود. با داشتن خلوص 5N، اندازه دانه یکنواخت و محتوای اکسیژن پایین، کاربر نهایی میتواند نرخهای فرسایش ثابت و پوشش نازک همگن و با خلوص بالا را در طی فرآیند PVD بدست آورد.
در تولید مدارهای مجتمع، پدیده انتشار سیلیکون به لایهی واسط آلومینیوم رایج است. اگر یک غلظت اشباع از سیلیکون به آلومینیوم اضافه شود تا یک آلیاژ آلومینیوم-سیلیکون تشکیل دهد، این مشکل به طور مؤثر بهبود مییابد. بنابراین، ما همچنین تارگتهای آلومینیوم-سیلیکون (AlSi) و آلومینیوم-سیلیکون-مس (AlSiCu) را برای کاربردهای مدارهای مجتمع تولید میکنیم.
احمد خسروی –
خلوص 5N یعنی چی؟ چرا اینقدر مهمه؟
beny1365 –
5N یعنی خلوص ۹۹٫۹۹۹٪! این به معنای وجود تنها ۰٫۰۰۱٪ ناخالصیست. در الکترونیک نانوابعاد، کوچکترین ناخالصی میتونه باعث قطع اتصال، نشت جریان یا کاهش عمر چیپ بشه. پس این خلوص برای قابلیت اطمینان حیاتیه.
beny1365 –
5N یعنی خلوص ۹۹٫۹۹۹٪! این به معنای وجود تنها ۰٫۰۰۱٪ ناخالصیست. در الکترونیک نانوابعاد ، کوچکترین ناخالصی میتونه باعث قطع اتصال ، نشت جریان یا کاهش عمر چیپ بشه. پس این خلوص برای قابلیت اطمینان حیاتیه.
کاوه کاپور –
درصد مس توی آلیاژ معمولاً چقدره؟ ۰.۵٪ بهتره یا ۴٪؟
beny1365 –
درصد رایج بین ۰.۵ تا ۴ درصد مس هست. درصد پایینتر (مثلاً ۰.۵٪) برای کاهش مهاجرت اتمی (Electromigration) و افزایش پایداری بهینهست. درصد بالاتر (مثلاً ۴٪) ممکنه برای رسانایی الکتریکی بهتر یا افزایش استحکام مکانیکی انتخاب بشه. انتخاب نهایی به طراحی خاص مدار بستگی داره.