فوتورزیست S1813

توضیحات

فوتورزیست S1813

شرایط کار:

۱- پوشش دهی چرخشی                                          (speed = 2000-5000 rpm time = 20-30 second)

۲- پیش پخت(Pre bake)
                                                                                                                         ۱۰ min < Time < 15 min
                                                                                                              ۱۰۰ °C < Temp (oven) < 110 °C                                                                   
زمان پخت بستگی به ضخامت رزیست دارد.
۳- پرتو دهی با نور (i-line λ=۳۶۵ nm) UV
Time exposure = 20-30 second
 ۴- پرتودهی با نور آبی (g-line λ=۴۰۵ nm)
                                                                                                  Time exposure = 180 second (3 min) 
۵- پرتودهی با نور آبی(h-line λ=۴۳۶ nm)
                                                                                                   Time exposure ≥ ۱۸۰ second (3 min)
۶- ظاهر سازی (developing)
                                                                                                   Concentration ≤ ۰٫۱۵ – ۰٫۲۵M NaOH
غلظت M 15 معادل دو دانه قرص NaOHدر ۵۰میلی لیتر آب است.

غلظت ۰٫۲۵ Mحد ماکزیمم برای فوتو رزیست است.
۷- پخت تکمیلی یا سخت (post or hard bake )
                                                                                                                         ۱۰ min < Time < 25 min
                                                                                                                            Temp = 110°C (oven)

فروش مواد شیمیایی و تجهیزات آزمایشگاهی