بوته تنگستن – بوته تبخیر فیزیکی:
بوته لایه نشانی به روش تبخیر فیزیکی (PVD) در محیط خلا انجام می شود.
در این روش جریان الکتریکی زیادی از یک مقاومت الکتریکی که توانایی تحمل جریان بالا را دارد، عبور داده می شود. به این مقاومت، بوته تبخیر یا بوته PVD یا بوته لایه نشانی گفته می شود. جنس آن معمولا به نحوی انتخاب می شود که تحمل دمای بالایی را داشته باشد. به همین خاطر معمولا دارای جنسی از موادی مانند تنگستن و یا مولیبدن می باشد.
در اثر عبور جریان الکتریکی از بوته تبخیر، گرما تولید می شود.
به کمک این گرما میتوان برخی مواد را ذوب و حتی تبخیر نمود. فلز بخار شده بر روی تمام نقاط بالای بوته لایه نشانی می شود.
دمای ذوب تنگستن:۳۴۱۰
دمای ذوب مولیبدن: ۲۶۱۰
دمای ذوب نیکل: ۱۴۵۳
دمای ذوب نقره:۹۶۰
دمای ذوب طلا: ۱۰۶۴
دمای ذوب مس:۱۰۸۳
درجه سانتیگراد می باشد.
نقد و بررسیها
پاککردن فیلترهاهنوز بررسیای ثبت نشده است.