لایه نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون Electron Beam

در این روش با باریکه الکترونی ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن تخلیه شده تا فشارمحیط به ۵-۱۰ تور برسد. سپس با اعمال ولتاژ به یک تفنگ (گان) الکترونی، الکترون ها به ماده هدف(تارگت) برخورد کرده و سبب تبخیر آن می شود. به دلیل انرژی بالاتر الکترونها نسبت به تبخیر حرارتی مقاومتی چسبندگی بهتری در این روش بدست می آید ، این فرآیند توسط کریستال کوارتز در حین انجام لایه نشانی کنترل شده تا ضخامت مورد حاصل شود.

 

تجهیزات مورد استفاده:

دستگاه تبخیر با باریکه الکترون (Electron Beam) ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۱

شرایط :

  • انجام لایه نشانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر نمونه
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه ­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی مقاومتی PVD(Pysical Vapor Deposition)

در این روش ابتدا محفظه توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن به خلا مورد نظر می رسد سپس با استفاده از یک منبع جریان بالا دمای فلز هدف (تارگت) بالا می رود و در نهایت ماده مورد نظر ابتدا ذوب و سپس تبخیر می شود و فرآیند آغاز می گردد.این فرآیند توسط کریستال کوارتز ضخامت سنج در حین لایه نشانی کنترل شده تا لایه به  ضخامت مورد نظر برسد.

تجهیزات:

دستگاه تبخیر حرارتی(Physical Vapor Deposition)  ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۲

شرایط :

  • انجام لایه نسانی تحت خلا۵-۱۰  تور با استفاده از پمپ های روتاری و دیفیوژن
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۸ اینچی
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

 

لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC (Vacuum DC Magnetron Sputtering System)

در این روش محفظه با استفاده از پمپهای روتاری و توربو مولکولی با فشار پایه ۶-۱۰ تور می رسد و با ورود گاز حامل فشار فشار افزایش می یابد. با اعمال ولتاژ DC بین تارگت و زیرلایه پلاسما تشکیل شده و لایه نشانی آغاز می گردد. به دلیل انرژی بسیار بالای استفاده شده در این روش چسبندگی لایه ها بسیار مطلوب خواهد بود.

 

تجهیزات :

دستگاه لایه نشانی با روش مگنترون اسپاترینگ  DC ساخت شرکت Edwards vacuum  از کشور انگلستان

۳

شرایط:

  • انجام لایه نشانی با فشار پایه ۵-۱۰تور با استفاده از پمپ های روتاری و توربو مولکولی
  • دارای چرخاننده نمونه جهت یکنواختی بیشتر
  • حداکثر ابعاد نمونه یک ویفر ۳ اینچی
  • قابلیت لایه نسانی برای شش ویفر بصورت همزمان
  • تارگت با ابعاد ۲ اینچ
  • توان منبع ولتاژ DC 1 کیلووات
  • حجم محفظه ۶۰ لیتر
  • قابلیت لایه نشانی انواع لایه­های موردنظر

*حتما اطلاعات کامل نظیر ضخامت و ویژگی زیرلایه در فرم درخواست ارائه شود.

 

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.

خدمات لیتوگرافی

آزمایشگاه ۳etop خدمات طرح نگاری( لیتوگرافی ) بر روی کلیه سطوح مسطح با شرایط زیر را ارایه می دهد.

– طراحی الگوی اولیه به وسیله نرم افزار Corel Draw  و ایجاد آن برروی بستر شفاف

– طراحی و ایجاد الگوی مورد نظر بر روی کروم با دقت ۱۰ میکرومتر(ماسک)

– ایجاد الگوهایی با دقت ۱ میکرومتر در صورت ارایه ماسک مورد نظر با همان دقت توسط کاربر

 

تمام نکات مهم درباره نمونه باید توسط متقاضی به آزمایشگاه اطلاع داده شود. مواردی نظیر:

– خطرات نمونه ای که باید لیتوگرافی شود. (اشتعال، سمی بودن، حساس بودن به دما یا رطوبت یا عوامل دیگر)،

– احتمال خرابی نمونه در صورت قرار گرفتن در شرایط خاص

انتظار متقاضی از انجام آزمون باید در فرم درخواست به دقت قید شود.

 

تجهیزات مربوط به الگودهی

– دستگاه اسپین کوتینگ

– محفظه گرمایی آون

– دستگاه  کاهنده ماسک

– دستگاه  بدون تغییر اندازه

– میکروسکوپ نوری

 

در ادامه برخی از ماسک هایی که در ۳etop طراحی شده است به همراه لیتوگرافی انجام شده نمایش داده شده است.

دستگاه های لیتوگرافی مورد استفاده در آزمایشگاه ۳etop ساخته شرکت نانو پژوهان راگا می باشد.

 

خدمات لیتوگرافی

خدمات لیتوگرافی

نمونه ای از الگوهای طراحی شده جهت استفاده در سنسور گاز

 

نمونه لیتوگرافی

نمونه ای از الگوهای ایجاد شده بر روی شیشه و PET

 

نمونه الگوی لیتوگرافی

برخی از الگوهای ایجاد شده برروی لایه نازک نیکل وکروم

نمونه الگوی لیتوگرافی

نمونه الگوی لیتوگرافی

 

 گرا

تصاویر SEM مربوط به نانولوله های کربنی رشد داده شده به صورت عمودی بر روی زیر لایه سیلیکونی به کمک نیکل الگودهی شده

دستگاه الگوی لیتوگرافی

دستگاه الگوی لیتوگرافی

دستگاه استفاده شده در ۳etop ساخته شرکت نانو پژوهان راگا می باشد.

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.

خدمات پروفایلومتری

۳etop خدمات پروفایلومتری بر روی کلیه سطوح با شرایط زیر را ارایه می دهد.

  • اندازه­گیری ضخامت حداقل ۵۰ نانومتر با دقت۱۰± نانومتر
  • اندازه­گیری ضخامت تا حداکثر ۲۰۰ میکرومتر
  • اندازه گیری پستی و بلندی نمونه
  • دقت روبش سطحی ۵ میکرومتر
  • روبش سطحی تا حداکثر ۳ میلیمتر
  • سوزن دستگاه ۵ میکرومتر ازجنس تنگستن کارباید
  • خروجی بصورت فایل تصویری و Excel

در شکل زیر نمایی از نرم­افزار دستگاه و نمودار بدست آمده را مشاهده می­کنید.

نرم افزار پروفایلومتر نرم افزار پروفایلومتر

دستگاه پروفایلومتر مورد استفاده در آزمایشگاه ۳top ساخته شرکت نانو پژوهان راگا می­باشد.

پروفایلومتر پروفایلومتر

 

 

 

 

 

 

 

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.

 

خدمات مشخصه یابی الکتریکی (SMU)

آزمایشگاه ۳etop خدمات مشخصه یابی الکتریکی( I-V ) بر روی کلیه ادوات با امکانات زیر را ارایه می دهد.

  • اندازه­ گیری جریان با دقت ۱ نانوآمپر و حداکثر ۱۵ میلی­آمپر
  • اندازه­ گیری ولتاژ نمونه­های فعال با دقت ۱ میلی­ولت
  • اعمال ولتاژ به نمونه با دقت ۱ میلی­ولت از ۱۵- تا ۱۵+
  • قابلیت اعمال دو ولتاژ متغیر و ثابت بصورت همزمان برای نمونه ­هایی نظیر ترانزیستورها و …
  • قابلیت رسم انواع نمودارهای جریان- ولتاژ، جریان- زمان و ولتاژ- زمان
  • خروجی نمودارها بصورت فایل تصویری و Excel
  • قابلیت مشخصه یابی برای نمونه­ های لیتوگرافی شده که دسترسی به الکتریکی به آنها به طور عادی میسر نیست، به کمک دستگاه پراب استیشن

تجهیزات مربوط به مشخصه یابی

  • دستگاه مشخصه یابی
  • دستگاه پراب استیشن

در شکل زیر نمایی از نرم­افزار دستگاه و نمودار بدست آمده را مشاهده می­کنید.

نرم افزار مشخصه یاب الکتریکی

نرم افزار مشخصه یاب الکتریکی

دستگاه های مشخصه یابی الکتریکی مورد استفاده در آزمایشگاه ۳top ساخته شرکت همکار نانو پژوهان راگا می باشد.

مشخصه یاب الکتریکی

مشخصه یاب الکتریکی

کپی برداری از سایت با ذکر منبع(۳etop.ir) بلا مانع است.